Aportaciones al diseño de micromáquinas de inducción electrostáticas

Abstract

La tendencia teconológica en el ámbito de la microelectrónica está dirigida al desarrollo de dispositivos, circuitos y sistemas de muy bajo consumo. En las tecnologías MEMS se hacen esfuerzos en el escalado de dispositivos ya conocidos en la macroescala. Para su fabricación de utilizan las técnicas de fabricación de circuitos integrados, esto hace posible obtener una producción maisva y de bajo coste. Este campo es deficitario en herramientas de desarrollo, diseño, simulación test y optimización de micromotores. Esta tesis es una contribución a su evolución. La originalidad de esta tesis doctoral reside en la metodologías utilizada para su desarrollo. En el trabajo de investigación realizado se han estudado los campos eléctricos y magnéticos y las densidades de esfuerzos que producen ambos campos en la microescala. Se estudian los principios físicos de los dispositivos en le microescala y se analizan las leyes de escala.